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　　這種材料多少錢一公斤？本頁資源信息價格僅供參考。由于庫存規(guī)格、數(shù)量和價格隨時都在變化，不可能一一更新。如果您有任何需求，請聯(lián)系我們的客服了解詳情！【摘要】模具型腔的表面粗糙度不僅影響成型件的外觀，而且對產(chǎn)品性能也有很大影響。s136轉(zhuǎn)速的進(jìn)給速度是多少？使用高端塑料模具鋼對表面質(zhì)量的要求越來越嚴(yán)格，目前拋光技術(shù)的局限性越來越大，難以滿足其要求。探索新的拋光技術(shù)制造高端塑料模具鋼獲得超光滑表面和全局平坦化是迫切的，具有重要的現(xiàn)實(shí)意義?；瘜W(xué)拋光(CMP)作為一種全局平坦化技術(shù)，廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路中， 拋光材料可以達(dá)到理想的拋光性能。本文介紹了應(yīng)用更廣泛的高端塑料模具鋼以S136鋼為例，探討了CMP技術(shù)獲得優(yōu)異拋光性能的工藝參數(shù)組合，并分析了其材料去除機(jī)理和化學(xué)拋光機(jī)理。本文采用X射線衍射、掃描電鏡、原子力顯微鏡等測試方法表征拋光性能，用均方根粗糙度(RMS)和材料去除率(MRR)評價拋光性能。本文研究了影響CMP性能的更重要的參數(shù)，包括拋光液的酸堿度、下壓力、拋光機(jī)轉(zhuǎn)速和磨粒類型。首先，用單因素變量法確定上述參數(shù)的近似分布水平。結(jié)果表明，壓力和轉(zhuǎn)速對s136鋼拋光性能的影響表現(xiàn)出相似的規(guī)律。隨著壓力和轉(zhuǎn)速的增加，MRR增加S136轉(zhuǎn)速的進(jìn)給率。在較小的參數(shù)值范圍內(nèi)，MRR與壓力和轉(zhuǎn)速的關(guān)系可以用改進(jìn)的Preston方程表示，預(yù)測值與實(shí)測值的誤差在2%以內(nèi)。當(dāng)壓力和轉(zhuǎn)速值進(jìn)一步增加時，普雷斯頓方程失效。拋光液的酸堿度對拋光性能有很大影響。在酸性拋光液體系中，S136鋼可以獲得較好的拋光性能。根據(jù)磨料種類的不同，同一種磨料不可能獲得更大的MRR和更小的均方根。綜合考慮后，選擇二氧化硅作為更佳磨粒。在確定了每個參數(shù)的近似分布水平之后， 通過正交實(shí)驗(yàn)提出了更佳拋光工藝參數(shù)，并通過實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了驗(yàn)證。以MRR和RMS為評價指標(biāo)，用XRD、SEM和AFM對結(jié)果進(jìn)行了驗(yàn)證。結(jié)果表明，在更佳工藝參數(shù)下拋光后，S136鋼的均方根值為68.31nm，均方根值為2.87 nm，MRR值為173.26nm/min。與其他參數(shù)組合相比，更佳工藝參數(shù)可以獲得更小的表面粗糙度和更大的材料去除率，證實(shí)了上述正交實(shí)驗(yàn)結(jié)果所獲得數(shù)據(jù)的有效性和可靠性。通過指標(biāo)關(guān)系圖分析了各因素對拋光性能的影響程度。更后，本文詳細(xì)討論了S136鋼在CMP過程中的材料去除機(jī)理和化學(xué)拋光機(jī)理，并分析了拋光缺陷產(chǎn)生的原因。對于S136鋼的CMP過程， 關(guān)鍵和核心是實(shí)現(xiàn)化學(xué)作用和機(jī)械作用的平衡。所有參數(shù)變化和組合的本質(zhì)都是影響機(jī)械作用和化學(xué)作用的匹配平衡。蘇州東锜精密模具材料有限公司是一家專營國內(nèi)外知名專業(yè)的公司。模具鋼材料銷售、大型銑床磨床拋光板加工、真空熱處理于一體的模具企業(yè)，公司綜合實(shí)力雄厚，技術(shù)設(shè)備精良，配套設(shè)施齊全；并擁有一批技術(shù)精湛的工程師和一支經(jīng)驗(yàn)豐富的售后服務(wù)隊(duì)伍，嚴(yán)格的質(zhì)量管理體系和科學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓芾頇C(jī)制。

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